韩企量产氟化氢 推进半导体材料国产化

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SK Materials已在韩国东部的荣州市的工厂启动量产。该公司表示，实现量产的氟化氢气体达到被称为“five nine（5个9）”的纯度，即99.999%。虽然品质仍低于日本原材料厂商此前出口的11个9这一超高纯度的“Eleven Nine”，但在半导体晶圆的清洗等一部分生产工序已开始使用。

SK Materials在日本加强对韩出口管理之后，于2019年11月建立了相关材料的开发中心。在充分利用SK海力士设立的基金资金的同时，一直推进实现氟化氢量产化的研发。目前已使全年15吨规模的生产设备投入运行，计划到2023年将韩国国内半导体生产所用的氟化氢的国产化比率提高至70%。

日本去年7月开始限制三种高科技材料对韩国的出口，威胁到韩国经济的支柱芯片产业，以及全球科技部件供应链。韩国企业寻找代替供应企业，韩国的材料厂商获得政府支援，一直在加快相关材料的国产化。

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（编辑：广安站长网）

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